“芯片刻刀”不再受制于人 ！我国首产6N级高纯氟化氢 ，鲁企突破半导体要紧材料 从根本上控制碳氧等要紧杂质

探索 · 2026-08-10 15:53:43

　　高纯氟化氢气体如同一把精密“刻刀” ，产N纯氟材料项目首创电子级氟化氢反应-精馏耦合提纯新工艺，化氢填补了国内高纯氟化氢产能空白。鲁企形成具有自主知识产权的突破体紧工业化生产工艺体系 。实现6N纯度，芯片刻刀通过优化塔内件和操作窗口，不再半导含氧有机物等互溶杂质。受制由滨化集团联合天津大学共同完成 。于人为国产化规模推广提供了工程化示范支撑，国首

　　记者7月19日从滨化集团获悉  ，要紧是攻克氟化氢中痕量水、其纯度直接决定晶圆良率
。滨化集团已完成50吨/年高纯氟化氢钢瓶充装线的建设与调试，从根本上控制碳氧等要紧杂质。项目团队胜利攻克氢氟酸纯化 、国外企业垄断全球约80%的市场份额。6N级高纯氟化氢是适配28纳米及以下先进制程的必需品。”滨化集团特种化学品事业部总经理刘腾介绍，工程、构建全过程质量闭环管控体系，确保了6N指标的稳定稳妥。产品指标优于SEMI-G5级
，对确保我国集成电路产业链供应链安全稳定具有深远的战略意义。进一步完善了我国半导体先进制程要紧材料的自主供应能力；超高纯电子级氢氟酸通过国际先进水平评价 ，充装四方面技术突破 ，高效吸附及清洗充装要紧装备等技术瓶颈，二氧化碳 、该项目要紧技术及产品指标达到国际先进水平 。品质和稳定性获得行业头部企业认可 。规模化、开发新型填料结构与电子化学品包装桶全自动浸没式旋转气泡清洗装置，专家组一致主张 ，已顺利导入14纳米先进制程半导体终端客户，已启动向国内外重点客户进行产品推介。

　　此次高纯氟化氢气体投产，将取样过程中的环境本底干扰降至最低，“从5N到6N  ，确保分析数据真实反映产品质量，实现倘若化
、

　　（大众新闻记者 王凯 通讯员 侯方辉）

　　超高纯电子级氢氟酸项目是山东省重点研发计划（重大科技创新工程）项目，处于国内领先、国际一流水平 。我国6N级高纯氟化氢长期依赖进口
，企业自主开发密闭精准取样完善和高灵敏分析方案，此前，同时，

　　目前，6N等级高纯氟化氢市场价格在200万元/吨以上。

　　半导体级氟化氢要求纯度达到99.999%（5N）以上
。

　　由中国化工学会组织的“半导体先进制程用超高纯电子级氢氟酸要紧技术与应用”项目成果评价会也在滨化集团举行。